三星显示与ULVAC联手开发垂直蒸镀方式IT产品

文章转载自：CINNO Research产业资讯

三星显示决定在IT用8.5代OLED面板的制造上，优先评估有机物垂直蒸镀方式。垂直蒸镀可以最小化有机物蒸镀过程中光罩下垂。

根据韩媒thelec报道，三星显示正在与日本ULVAC联手开发垂直蒸镀方式的IT产品用8.5代OLED蒸镀机。IT产品是指平板电脑、笔记本电脑、显示器等。8.5代(2200x2500mm) OLED面板比现有的6代(1500x1850mm)在经济性方面更有利。

垂直蒸镀方式是将玻璃基板向与地面垂直立起来的方向输送气化(变成气体)有机物的方式。第6代OLED主要使用的水平蒸镀方式是，向与地面水平方向漂浮玻璃基板，将气化的有机物从下往上蒸镀。

三星显示优先评估的垂直蒸镀方式可以将“光罩下垂”问题最小化。在垂直蒸镀方式上，不仅是玻璃基板， RGB OLED有机物蒸镀所需的FMM金属光罩也与地面垂直放置使用，因此可减少FMM中间下垂现象。

与此相比，水平蒸镀方式的6代OLED在蒸镀RGB有机物时使用长条形FMMstick，但因重力原因导致FMM stick中间下垂。为了防止这种情况发生，要在frame上拉伸焊接FMM stick。

据悉，ULVAC在三星显示工厂就近安置了研发空间进行垂直蒸镀设备开发。

垂直蒸镀方式虽然具有最小化FMM下垂的优点，但还没有成为主流技术。日本JDI于2019年表示:“垂直蒸镀设备所占面积比水平蒸镀方式小30%。”但并未阐明其他优点。2017年，美国AMAT公司向JDI提供的该垂直蒸镀设备被用于苹果 iWatch OLED面板。生产线规模也仅为6代 每月2000张(2K)母板。

除此之外，若想把垂直蒸镀方式中气化的有机物蒸镀在玻璃基板上，需要更高的温度。而热温有可能导致有机物的特性变化。

据悉，除了垂直蒸镀外，三星显示还在研究水平蒸镀方式的IT用8.5代OLED蒸镀技术。及有可能是独家向三星显示供应6代水平蒸镀设备的日本cannon Tokki。但是，与三星显示与ULVAC进行的垂直蒸镀设备开发相比，cannon Tokki的水平蒸镀设备开发进展缓慢。

目前，三星显示正在现有的6代OLED生产线上生产IT面板。智能手机面板的主流是6英寸左右，但平板电脑的主流是10英寸左右，笔记本电脑的主流是15英寸左右，显示器的主流是20英寸左右，因此只有在8.5代制造IT用OLED面板，才能降低成本。以13.3英寸面板为例，6代母板可以切出48片， 8.5代母板可以切出96片(48片half cut)。

LG显示计划先用6代线开发IT产品用OLED，然后依次开发8.5代技术。明年推出的苹果首款OLED iPad面板全部由三星显示供应。

LG显示正在量产的8.5代大尺寸OLED采用白光OLED(W-OLED)方式，与6代中小尺寸OLED的RGB OLED技术不同。6代RGB OLED在同一层实现RGB像素，但8.5代W-OLED在一层只镀一种材料。因此，W-OLED无需FMM，仅需OMM。

且RGB OLED在OLED上同时实现发光和发色，而W-OLED在OLED上仅发出白色光，通过彩色过滤 (CF)实现颜色。过去，三星显示认为大尺寸OLED上不具备量产性的技术是RGB OLED方式。三星显示目前正在开发的大尺寸显示QD-OLED是在OLED上发出蓝光，通过量子点实现色转换，同样不需要FMM。