总投资16.7亿元，中微公司临港产业化基地正式启用

   近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司举行“20周年盛会华章暨临港基地落成庆典”，同时，中微公司临港产业化基地宣布正式启用。

   据了解，该基地项目总投资16.7亿元，占地157亩，总建筑面积约18万平方米，配备行业领先的实验室、业界高标准的洁净室、先进的生产车间及智能化立体仓库等设施，可实现生产全程数字化、智能化管理，为中微最大的生产制造基地。

图源：中微公司

   中微公司，致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案，据官微信息显示，到2024年中微公司累计已有超5000个反应台在国内外130多条生产线实现量产。

   产品方面，等离子体刻蚀设备已被广泛应用；用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据优势地位。

   此外，中微公司表示，目前，位于滴水湖畔的中微临港总部暨研发大楼也正在建设中，建成后占地面积约10万平方米，加上已投入使用的14万平方米南昌生产研发基地，未来，中微公司的生产和研发基地总面积将达到约45万平方米。